Ingeniería de cerámica CO., (EC © ™):
Alimentación de vacío EC - Descripción general técnica
EC se especializa en alimentos de vacío de alto rendimiento con:
✔ Aisladores de cerámica(Al₂o₃/aln) para aislamiento de voltaje ultra alto
✔ Tecnología de soldadura de vacío (tasa de fuga <10⁻⁹ Mbar · L/S)
✔ Sellado hermético para bombas turbomoleculares/iones (compatible con UHV/XHV)
✔ Configuraciones personalizadas para aplicaciones de semiconductores, aeroespaciales y de investigación
Tabla 1: Clasificación por principio de trabajo
Tabla 2: Clasificación por nivel de vacío
Guía de selección de la bomba de vacío
Criterios de selección de clave
1.El ultimo nivel de vacío
El nivel de vacío requerido debe alinearse con las especificaciones del proceso. Por ejemplo:Fabricación de semiconductoresPor lo general, requiere niveles de vacío por debajo de 10⁻⁶ Los procesos industriales de PA pueden funcionar de manera efectiva en el rango de 10⁻¹ a 10² PA
2. Velocidad de bomba
Medido enlitros por segundo(L/s) ometros cúbicos por hora(m³/h) debe tener el tamaño adecuado para el volumen de la cámara y las aplicaciones de alto rendimiento de la carga de gas (por ejemplo, hornos de vacío) pueden requerir más de 1,000 m³/h
3.Gas y compatibilidad química
● Aplicaciones estándar:Materiales estándar (acero inoxidable, aluminio)
● Entornos corrosivos:Requiere materiales especializados como:
● Componentes recubiertos de PTFE (para resistencia al ácido)
● Aleaciones de Hastelloy o Níquel (para químicas agresivas como el cloro)
4. Eficiencia y mantenimiento de la energía
Bombas selladas con aceite:
● Costo inicial más bajo
● Requiere cambios regulares de aceite (cada 2,000–4,000 horas)
● Riesgo de contaminación del aceite en procesos sensibles
Bombas secas (sin aceite):
● Inversión inicial más alta
● Operación sin mantenimiento (sin cambios de aceite)
● Preferido para procesos limpios (por ejemplo, productos farmacéuticos, alimentos)
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