Informe de Ingeniería Ceramics Inc. (EC © ™):
CEAlimentación al vacío- Resumen técnico
EC se especializa en alimentos al vacío de alto rendimiento, como:
✔ Aislador de cerámica para aislamiento de voltaje ultra alto (al₂o₃/aln)
✔ Tecnología de soldadura de vacío (tasa de fuga <10⁻⁹ Mbar · L/S)
✔ Sellado hermético para bombas turbo moleculares/bombas de iones (compatible con UHV/XHV)
✔ Configuraciones personalizadas para aplicaciones de semiconductores, aeroespaciales y de investigación
Tabla 1: Clasificación basada en el principio operativo
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tipo |
Teoría de la operación |
Vacú final (PA) |
Características principales |
Usos principales |
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Bomba de paleta giratoria |
Transición con una camioneta giratoria |
1e-1 ~ 1e2 |
Tipo de sello de aceite, requerido mantenimiento |
Bomba de línea de fondo |
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Bomba de desplazamiento seco |
Compresión de gas por espirales orbitales |
1e-2 ~ 1e1 |
Vibración sin aceite y baja |
Equipo de laboratorio |
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Roots Bloots |
Transporte de gas utilizando lóbulos giratorios de contador |
1e-1 ~ 1e3 |
Alto rendimiento, a menudo múltiple |
Sistema de vacío industrial |
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Bomba de difusión de aceite |
Transferir por impulso de chorro de vapor |
1e-7 ~ 1e-4 |
Sin partes móviles, se requieren trampas en frío |
Deposición de viga electrónica |
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Bomba turbo |
El rotor de alta velocidad (> 60k rpm) choca con moléculas |
1e-9 ~ 1e-6 |
Limpieza, sensible a la vibración |
Máquina de ciencias de UHV |
|
Bomba criogénica |
Condensación de gas en <20k superficies |
<1e-10 |
Se requiere vacío máximo y regeneración regular |
Simulación del entorno espacial |
Tabla 2: Clasificación por nivel de vacío
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Rango de vacío |
Presión (PA) |
Tipo de bomba óptimo |
Consideraciones técnicas |
|
Vacío grueso |
1e5 ~ 1e2 |
Paleta rotativa, diafragma |
Soporte de alta presión con lastre de gas |
|
Baja vacío |
1e2 ~ 1e-1 |
Raíces + veleta giratoria |
Velocidad versus eficiencia energética |
|
Altos vacío |
1e-1 ~ 1e-7 |
Difusión, |
Prevención de Backstream |
|
Hacú ultra alto (UHV) |
1e-7 ~ 1e-10 |
Ion, criopump |
La selección de material es importante |
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Vacué extremadamente alta |
<1e-10 |
Croesistema iónico híbrido |
Entorno de nivel cuántico |
Guía de selección de la bomba de vacío
Criterios de selección de clave
1. Nivel de vacío final
El nivel de vacío requerido debe cumplir con las especificaciones del proceso. Por ejemplo:
- En la fabricación de semiconductores, generalmente se requieren niveles de vacío por debajo de 10⁻⁶ PA.
- En los procesos industriales, puede funcionar de manera efectiva en el rango de 10 °me a 10²
2. Velocidad de bombeo
Medido en litros por segundo (l/s) o metro cúbico por hora (m³/h)
Elija el tamaño adecuado para su capacidad de cámara y carga de gas
Las aplicaciones de alto rendimiento (por ejemplo, hornos de vacío) pueden requerir más de 1,000 m³/h
3. Gas y compatibilidad química
- Uso estándar: materiales estándar (acero inoxidable, aluminio)
- Entorno corrosivo: se requieren materiales especiales, por ejemplo:
- Piezas de recubrimiento de PTFE (para resistentes al ácido)
- Hastelloy o aleación de níquel (para productos químicos potentes como el cloro)
4. Eficiencia energética y mantenimiento
- Bomba de sello de aceite:
- Bajo costo inicial
- Se requieren cambios regulares de aceite (cada 2,000 a 4,000 horas)
- El riesgo de contaminación del aceite a través de procesos sensibles
- Bomba seca (sin aceite):
- Alta inversión inicial
- No se requiere mantenimiento (sin cambio de aceite)
- Recomendado para procesos limpios (por ejemplo, medicamentos, alimentos)
La terminología principal cubierta en este texto es la siguiente:
1. Sellos de vacío: un sello de vacío, la tecnología de sellado de vacío de los dedos y la alimentación de vacío son efectivas (conexión de sellado).
2. Parte de paso (かんつうぶ)-Parte de paso, generalmente se refiere a partes que pasan a través de paredes o particiones, y a veces se usa para describir estructuras similares al vacío.
3. Furanzi: brida, comúnmente utilizada en componentes de conexión del sistema de vacío, el hardware relacionado con el vacío puede involucrar este término.
4. Conector de vacío: conector de vacío, conector de vacío subídico y la capacidad de acceder a la alimentación.
5. Penetración de aislamiento: capacidad de funcionar durante la alimentación de vacío.
Estas palabras no son del todo equivalentes a la "alimentación de vacío", sino que pueden usarse como aproximaciones o términos relacionados bajo ciertas circunstancias. Qué idioma usar depende de los detalles técnicos y las normas de la industria, por lo que se recomienda que se refiera a la literatura especializada relevante o consulte a un experto para garantizar la precisión.
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